Ҷузъҳои пассивии фотоникаи кремний

Фотоникаи кремнийҷузъҳои ғайрифаъол

Дар фотоникаи кремний якчанд ҷузъҳои асосии ғайрифаъол мавҷуданд. Яке аз инҳо пайвасткунаки гратии рӯизаминӣ мебошад, ки дар расми 1А нишон дода шудааст. Он аз панҷараи қавӣ дар мавҷгир иборат аст, ки давраи он тақрибан ба дарозии мавҷи нур дар мавҷгиранда баробар аст. Ин имкон медиҳад, ки нур ба сатҳи перпендикуляр бароварда шавад ё қабул карда шавад, ки онро барои андозагирии сатҳи вафли ва / ё пайвастшавӣ ба нах беҳтарин мекунад. Пайвасткунакҳо барои фотоникаи кремний то ҳадде беназиранд, зеро онҳо контрасти баланди шохиси амудиро талаб мекунанд. Масалан, агар шумо кӯшиш кунед, ки дар мавҷи мавҷи муқаррарии InP пайвасткунаки гратӣ созед, рӯшноӣ ба ҷои амудӣ паҳн шуданаш мустақиман ба субстрат мерезад, зеро мавҷи мавҷҳо нисбат ба субстрат нишондиҳандаи миёнаи шикаста камтар аст. Барои он ки он дар InP кор кунад, мавод бояд дар зери панҷара кофта шавад, то онро боздорад, тавре ки дар расми 1В нишон дода шудааст.


Тасвири 1: пайвасткунакҳои гртингии якченакаи рӯизаминӣ дар кремний (A) ва InP (B). Дар (A) хокистарӣ ва кабуди равшан мутаносибан кремний ва кремнийро ифода мекунанд. Дар (B), сурх ва норанҷӣ мутаносибан InGaAsP ва InP -ро ифода мекунанд. Рақамҳо (C) ва (D) тасвирҳои сканерии микроскопи электронии (SEM) пайвасткунаки панҷараи кантилверии таваққуфшудаи InP мебошанд.

Дигар ҷузъи калидии табдилдиҳандаи андозаи ҷойи (SSC) байнимавҷи оптикӣва нах, ки режими тақрибан 0,5 × 1 мкм2 дар мавҷи кремний ба ҳолати тақрибан 10 × 10 мкм2 дар нах табдил медиҳад. Муносибати маъмулӣ истифодаи сохторе мебошад, ки конуси баръакс номида мешавад, ки дар он мавҷҳо тадриҷан то як нӯги хурд танг мешаванд, ки боиси васеъшавии назаррасиоптикӣпатч режим. Ин режимро метавон тавассути мавҷи шишагини овезон сабт кард, тавре ки дар расми 2 нишон дода шудааст. Бо чунин SSC талафоти пайвасти камтар аз 1,5 дБ ба осонӣ ба даст оварда мешавад.

Тасвири 2: Табдилдиҳандаи андозаи намуна барои мавҷҳои сими кремний. Маводи кремний дар дохили мавҷи шишаи овезон сохтори конусии баръаксро ташкил медиҳад. Субстрати кремний дар зери мавҷи шишаи овезон канда шудааст.

Ҷузъи асосии ғайрифаъол ин тақсимкунандаи нури поляризатсия мебошад. Баъзе намунаҳои тақсимкунакҳои поляризатсия дар расми 3 нишон дода шудаанд. Якум ин интерферометри Mach-Zender (MZI) мебошад, ки дар он ҳар як бозу як шикасти гуногун дорад. Дуюм пайвасткунаки самти оддӣ аст. Муносибати дупаҳлӯии шакли мавҷи сими маъмулии кремний хеле баланд аст, аз ин рӯ нури поляризатсияшудаи магнитии (TM) ба таври пурра пайваст карда мешавад, дар ҳоле ки нури қутбшудаи барқии (TE) қариб ҷудо карда мешавад. Сеюм як пайвасткунаки қутбӣ мебошад, ки дар он нах дар кунҷ ҷойгир карда шудааст, то нури қутбшудаи TE дар як самт пайваст шавад ва нури қутбшудаи TM дар дигараш пайваст шавад. Чаҳорум як пайвасткунаки панҷараи дученака аст. Режимҳои нахи, ки майдонҳои электрикии онҳо ба самти паҳншавии мавҷҳо перпендикуляр мебошанд, ба мавҷгири мувофиқ пайваст карда мешаванд. Нахро хам кардан мумкин аст ва ба ду мавҷгузар пайваст карда шавад ё ба сатҳи перпендикуляр ва ба чор мавҷгузар пайваст карда шавад. Бартарии иловагии пайвасткунакҳои дученака дар он аст, ки онҳо ҳамчун ротаторҳои поляризатсия амал мекунанд, яъне ҳамаи нурҳои чип яксон поляризатсия доранд, аммо дар нах ду поляризатсияи ортогоналӣ истифода мешаванд.

Расми 3: Ҷудокунакҳои поляризатсияи сершумор.


Вақти фиристодан: июл-16-2024